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本发明涉及低温等离子体技术和薄膜材料制备技术领域，具体涉及一种等离子体射流触发脉冲阴极弧源，包括：水冷阴极靶、磁流体、齿轮减速器、冷却水进出嘴、阴极靶电机、运动模组电机、磁场线圈、屏蔽壳、运动机械模组和等离子体电弧射流炬；本发明可以在高沉积...
该专利属于核工业西南物理研究院所有，仅供学习研究参考，未经过核工业西南物理研究院授权不得商用。

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