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本发明公开了一种如式１所示的胺类化合物在制备用于抛光氧化物介电质的抛光液中的应用；其中Ｒ↓［１］、Ｒ↓［２］和Ｒ↓［３］分别为氢、（ＣＨ↓［２］）↓［ｎ］ＣＯＯＲ↓［４］或（ＣＨ↓［２］）↓［ｎ］ＣＯＮＨ↓［２］，但不同时为氢；ｎ为０或１；...该专利属于安集微电子科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安集微电子科技（上海）有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种如式１所示的胺类化合物在制备用于抛光氧化物介电质的抛光液中的应用；其中Ｒ↓［１］、Ｒ↓［２］和Ｒ↓［３］分别为氢、（ＣＨ↓［２］）↓［ｎ］ＣＯＯＲ↓［４］或（ＣＨ↓［２］）↓［ｎ］ＣＯＮＨ↓［２］，但不同时为氢；ｎ为０或１；...