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本发明公开了一种芯片硅生产使用的二级研磨设备，包括支撑脚、驱动机构、刮壁机构和降温机构，支撑脚顶部固定连接有机体，机体正面铰链铰接有防护门。本发明，在进行研磨工作时，控制液压升降杆工作，在液压升降杆工作时控制防护盖下移，同时挤压柱接触并贯穿...
该专利属于济宁东方芯电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济宁东方芯电子科技有限公司授权不得商用。

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