下载一种芯片硅生产使用的二级研磨设备的技术资料

文档序号:41824474

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本发明公开了一种芯片硅生产使用的二级研磨设备,包括支撑脚、驱动机构、刮壁机构和降温机构,支撑脚顶部固定连接有机体,机体正面铰链铰接有防护门。本发明,在进行研磨工作时,控制液压升降杆工作,在液压升降杆工作时控制防护盖下移,同时挤压柱接触并贯穿...
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