下载边发射二维光子晶体分布反馈量子级联激光器及制备方法的技术资料

文档序号:4181714

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一种边发射二维光子晶体分布反馈量子级联激光器,包括:一衬底;一下波导层,该下波导层生长在衬底的中间部位,在下波导层上依次生长有有源层、上波导层和盖层;一高掺杂层,该高掺杂层生长在盖层的上面,该高掺杂层为二维正方圆孔点阵结构,该点阵结构具有沿...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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