温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例涉及一种制备涂层的方法、涂层、以及器件。所述方法包括以下步骤：将基材放置于等离子体反应腔室内；以及向所述等离子体反应腔室通入硅氧烷材料，施加偏压电源，等离子体放电，以在所述基材的表面沉积涂层。本发明实施例可以有助于以操作过程较为...
该专利属于江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。