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本申请提供一种硅晶片切割用砂浆冷却装置，包括基座，基座上分别设有砂浆罐和水箱；砂浆罐腔体的截面呈圆形，且内部设有同轴的隔套；隔套的内部设有流道孔，底部通过支撑杆与砂浆罐连接；支撑杆的数量不少于两个，且内部分别设有同轴的贯穿孔；两贯穿孔分别与...
该专利属于亿元达（天津）机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亿元达（天津）机电科技有限公司授权不得商用。

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