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本技术公开了一种用于材料器件真空热处理及掺杂改性的装置，包括：装置主体，内部设置有用于放置真空热处理材料或掺杂改性材料的坩埚主体，所述装置主体内部设置有两组加热结构用于加热坩埚主体两端，实现恒温或高低温温差；真空封管机，设置在装置主体上用于...
该专利属于武汉是维光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉是维光电科技有限公司授权不得商用。

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