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一种单晶炉的石墨热场制造技术
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下载一种单晶炉的石墨热场的技术资料
文档序号:4180239
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本实用新型涉及一种单晶炉的石墨热场,用于拉制单晶硅棒,其包括保温筒、导流筒、加热器、石墨坩埚和石英坩埚,石英坩埚位于石墨坩埚内,石墨坩埚位于加热器内及加热器电极脚之上,保温筒位于最外层,导流筒位于石英坩埚之上及保温筒内,且在加热器电极脚之上...
该专利属于方汉春所有,仅供学习研究参考,未经过方汉春授权不得商用。
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