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一种基板存储容器清洁方法，用于去除基板存储容器表面残留的水分和气态分子污染物，包括以下步骤：步骤S1，对基板存储容器进行解锁，将所述盒体和所述盖体分别置于清洁腔内；步骤S2，对密闭的清洁腔内的所述盒体和所述盖体进行加热，使所述盒体和所述盖体...
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