下载一种GaN的生长设备和制备方法的技术资料

文档序号:41796116

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种GaN的生长设备和制备方法。本发明提供了一种GaN的生长设备,分为内外两个部分,外部为中间设有圆形通孔块状结构的引导生长环,内部为空心圆柱状结构的抑制生长环。并根据该结构提供了一种GaN的制备方法,引导生长环的外围远离中心通...
该专利属于苏州纳维科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州纳维科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。