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本技术涉及围绕垂直轴或微陡斜轴旋转的技术领域，且公开了一种硅片清洗干燥装置，包括烘干箱本体，所述烘干箱本体内部中空，烘干箱本体的内部设置有四个放置板，放置板的上表面开设有第一凹槽，第一凹槽延伸出放置板的下表面，第一凹槽的内壁开设有卡槽，卡槽...
该专利属于新疆东方希望光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新疆东方希望光伏科技有限公司授权不得商用。

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