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本发明实施例的主要目的在于提供一种基于机器学习的晶圆外延生长控制方法，包括：进程一和进程二，将进程一中输入的工艺参数与进程二中修改后的工艺参数以及进程二中返回的晶圆特征存储到工艺参数数据库；根据所述样本数据通过训练学习得到晶圆外延生长模型，...
该专利属于华南农业大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南农业大学授权不得商用。

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