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本技术公开了一种晶圆定位装置，包括底座、设置在所述底座上的支撑杆、设置在支撑杆上的第一杆、与所述第一杆滑动连接的第二杆和活动设置在所述第二杆上的对准块。所述第二杆相当于所述第一杆滑动沿靠近或远离旋转机构方向移动，并通过第一定位件固定在所述第...
该专利属于合肥开悦半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥开悦半导体科技有限公司授权不得商用。

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