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本申请提供一种半导体结构及其形成方法,所述半导体结构包括:外延层,包括相对的第一面和第二面;第一掺杂区,自所述外延层的部分第一面向所述外延层中延伸;第二掺杂区,位于所述外延层中且与所述第一掺杂区堆叠分布,并与所述第一掺杂区的掺杂类型不同;隔...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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本申请提供一种半导体结构及其形成方法,所述半导体结构包括:外延层,包括相对的第一面和第二面;第一掺杂区,自所述外延层的部分第一面向所述外延层中延伸;第二掺杂区,位于所述外延层中且与所述第一掺杂区堆叠分布,并与所述第一掺杂区的掺杂类型不同;隔...