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本发明公开了一种用于转塔式固晶装置的晶圆承载结构，包括基板(10)、旋转组件(50)、第一平移组件(20)、以及第二平移组件(30)；旋转组件(50)包括旋转盘(51)和第三电机(52)；第三电机(52)固定设置于基板(10)的一端；旋转盘...该专利属于上海赢朔电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海赢朔电子科技股份有限公司授权不得商用。
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