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本发明提供一种减少片盒金属颗粒残留的清洗设备及工艺，包括用于承载片盒的承载平台，所述承载平台上端安装有清洗装置，所述承载平台表面设置有若干个承载开口，多个所述片盒位于对应的承载开口内阵列布置，同一纵列多个所述片盒的外边缘极限端点位于同一虚拟...
该专利属于安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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