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本技术涉及CVD设备技术领域，且公开了一种半导体原子层沉积系统的气浮旋转机构，包括底座，所述底座的顶部固定安装有功能箱，所述功能箱的左侧外表面活动安装有转杆，所述功能箱的顶部固定安装有连接柱，所述功能箱的右侧外表面活动安装有螺纹杆，所述功能...
该专利属于苏州镓耀半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州镓耀半导体科技有限公司授权不得商用。

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