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本技术提供一种用于改善镀膜设备产品均匀性的装置，包括PM腔，所述PM腔内插入式设有喷头，所述喷头由制程气体部、增压部、连接上盘和连接下盘组成，所述制程气体部和所述增压部一体化成型设置，所述制程气体部内部形成制程气体通道，所述增压部内部具有增...
该专利属于厦门市祥禾日升科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门市祥禾日升科技有限公司授权不得商用。

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