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本技术公开了一种晶圆翻转装置，晶圆翻转装置包括：支撑结构、翻转机构、第一套夹持机构和第二套夹持机构；翻转机构转动连接在支撑结构上，翻转机构用于在第一状态和第二状态之间转动；第一套夹持机构和第二套夹持机构层叠设置，每套夹持机构用于夹持一个晶圆...
该专利属于中芯先锋集成电路制造（绍兴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯先锋集成电路制造（绍兴）有限公司授权不得商用。

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