温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术公开了一种单晶棒端面自动找平机构,包括限位壳体、球轴和支撑盖,所述限位壳体内设置有球轴放置腔室;所述球轴滑动放置于所述球轴放置腔室内;所述球轴放置腔室的腔壁设置为第一球形壁,所述球轴的侧面设置为第二球形壁,所述第一球形壁与所述第二球形...该专利属于双良硅材料(包头)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过双良硅材料(包头)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术公开了一种单晶棒端面自动找平机构,包括限位壳体、球轴和支撑盖,所述限位壳体内设置有球轴放置腔室;所述球轴滑动放置于所述球轴放置腔室内;所述球轴放置腔室的腔壁设置为第一球形壁,所述球轴的侧面设置为第二球形壁,所述第一球形壁与所述第二球形...