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一种压电流体泵制造技术
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下载一种压电流体泵的技术资料
文档序号:41787135
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本发明涉及一种压电流体泵,属流体驱控领域。由泵盖、泵振子及泵座构成,泵盖和泵座中分别镶嵌有磁极轴向配置的盖磁铁和座磁铁;泵座中设有依次连通的内入孔‑入孔阀腔‑入孔及依次连通的内出孔‑出孔阀腔‑出孔;入孔阀腔和出孔阀腔都装有悬臂梁型阀振子,阀...
该专利属于浙江师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江师范大学授权不得商用。
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