一种压电流体泵制造技术

本发明专利技术涉及一种压电流体泵，属流体驱控领域。由泵盖、泵振子及泵座构成，泵盖和泵座中分别镶嵌有磁极轴向配置的盖磁铁和座磁铁；泵座中设有依次连通的内入孔‑入孔阀腔‑入孔及依次连通的内出孔‑出孔阀腔‑出孔；入孔阀腔和出孔阀腔都装有悬臂梁型阀振子，阀振子的自由端靠近座磁铁，入孔阀腔和出孔阀腔中的阀振子自由端分别封堵在入孔和内出孔上，入孔阀腔和出孔阀腔中的阀振子的自由端对称分布在座磁铁的磁极界面两侧；泵振子和阀振子为压电振子，泵基片和阀基片的材料为铁磁性金属；泵盖装在泵座上并将泵振子压接在泵座的座腔中，泵振子将座腔封闭成驱动腔，驱动腔经内入孔及入孔阀腔与入孔连通、经内出孔及出孔阀腔与出孔连通。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于流体传输与控制领域，具体涉及一种压电流体泵，用于气体和液体的驱动与控制。

技术介绍

1、微型泵主要用于气体与液体的采样、供给、冷却、负压与增压保持等诸多方面。根据工作原理，传统的微型泵主要为压电式与电磁式两类，其中电磁泵大都包含机械传动部分，故其结构复杂、体积与重量较大、功耗大，且工作中存在较大的噪音及可能得电磁干扰，不便于流体泵自身及装备总体结构的微小化与集成化，在微机电领域的应用受到了一定的制约。近年来，人们相继提出了多种类型的压电泵。从已经公开得论文与专利可以发现，现有的压电泵大都是基于单纯的压电振子与被动阀为动力元件和控制元件的，因单纯的压电振子及被动阀自身的驱动与控制能力有限，致使现有压电泵存在以下不足：①工作中利用流体压力变化控制被动阀的开启与关闭，阀开度及闭合状态仅受流体压力变化梯度及阀的动力学特性影响，被动阀的运动及其与压电振子的相位关系不易控制，致使泵的有效频带窄、流量可调性差，不适于流体粘度及所需流量较大的应用场合；②被动阀依靠弹性力及流体压力复位并维持闭合状态，长期高频工作时会出现塑性变形，故反流截止性及精量控制能力差。本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种压电流体泵，由泵盖、泵振子及泵座构成，泵盖和泵座中分别镶嵌有磁极轴向配置的盖磁铁和座磁铁；泵座中设有依次连通的内入孔-入孔阀腔-入孔及依次连通的内出孔-出孔阀腔-出孔；入孔阀腔和出孔阀腔都装有悬臂梁型阀振子，阀振子的自由端靠近座磁铁，入孔阀腔和出孔阀腔中的阀振子自由端分别封堵在入孔和内出孔上，入孔阀腔和出孔阀腔中的阀振子的自由端对称分布在座磁铁的磁极界面两侧；泵振子由泵基片与其一侧所粘接的泵晶片构成，阀振子由阀基片与其一侧所粘接的阀晶片构成，泵振子和阀振子为压电振子，泵基片和阀基片的材料为铁磁性金属；泵盖装在泵座上并将泵振子压接在泵座的座腔中，泵振子将座腔封闭成驱动腔，驱动腔经内...

【技术特征摘要】

1.一种压电流体泵，由泵盖、泵振子及泵座构成，泵盖和泵座中分别镶嵌有磁极轴向配置的盖磁铁和座磁铁；泵座中设有依次连通的内入孔-入孔阀腔-入孔及依次连通的内出孔-出孔阀腔-出孔；入孔阀腔和出孔阀腔都装有悬臂梁型阀振子，阀振子的自由端靠近座磁铁，入孔阀腔和出孔阀腔中的阀振子自由端分别封堵在入孔和内出孔上，入孔阀腔和出孔阀腔中的阀振子的自由端对称分布在座磁铁的磁极界面两侧；泵振子由泵基片与其一侧所粘接的泵晶片构成，阀振子由阀基片与其一侧所粘接的阀晶片构成，泵振子和阀振子为压电振子，泵基片和阀基片的材料为铁磁性金属；泵盖装在泵座上并将泵振子压接在泵座的座腔中，泵振子将座腔封闭成驱动腔，驱动腔经内入孔及入孔阀腔与入孔连通、经内出孔及出孔阀腔与出孔连通；非工作时，泵振子与盖磁铁和座磁铁间的磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：王淑云，姜焱鑫，于林俊，曹梦琪，孟凡许，陈松，张忠华，阚君武，曾平，程光明，
申请(专利权)人：浙江师范大学，
类型：发明
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