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本发明涉及一种微机械的z加速度传感器，具有：衬底(10)，其具有主延伸平面(x，y)；微机械的摇摆结构(20)，其平行于延伸平面布置在衬底上方并且能够沿垂直于延伸平面的第一方向z倾翻，其中，摇摆结构在第一子区域(40)中具有第一穿孔(50)...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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