微机械的z加速度传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种微机械的z加速度传感器，具有：衬底(10)，其具有主延伸平面(x，y)；微机械的摇摆结构(20)，其平行于延伸平面布置在衬底上方并且能够沿垂直于延伸平面的第一方向z倾翻，其中，摇摆结构在第一子区域(40)中具有第一穿孔(50)，第一穿孔沿第一方向z穿过摇摆结构延伸，第一穿孔具有平行于主延伸平面的第一横截面，第一横截面具有至少为1：1的第一长宽比，和第二穿孔(55)，第二穿孔沿第一方向z穿过摇摆结构延伸，该第二穿孔具有第二横截面，第二横截面具有较长侧与较短侧的第二长宽比，其中，第一长宽比小于第二长宽比。本发明专利技术的核心在于，在重复的图案中，第一穿孔和第二穿孔交替地彼此并排地布置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微机械的z加速度传感器。

技术介绍

1、用于测量加速度和旋转速率的微机械的惯性传感器对于在汽车和消费领域中的各种应用以大批量制造。具有垂直于晶圆平面(z方向)的探测方向的电容式加速度传感器多重地使用“摇摆结构”，如示例性地在图1中以部分透明的倾翻图像所示的那样。这些摇摆结构的传感器原理基于弹簧-质量系统，在所述弹簧-质量系统中，可运动的震动质量与固定在衬底上的两个配对电极以及处于mems结构中的两个配对电极形成板式电容器。由于对称性原因，震动质量通过至少一个、但通常两个扭力弹簧与基底连接。通过在“实心的”震动的摇摆结构侧和“空的”箱-摇摆结构侧之间的质量差在z加速度作用时产生传感器围绕着扭力弹簧的旋转。因此，电极的间距在具有较大质量的一侧上较小，而在另一侧上较大。电容变化是对于作用的加速度的度量。许多公开文献，例如ep 0244581 a1和ep 0773443 a1都描述了具有摇摆结构结构的加速度传感器。

2、不但加速度，而且热梯度能够导致摇摆结构偏转和因此导致错误信号(测量偏差)。如果传感器的上侧，例如由于靠近热源(如cp本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微机械的z加速度传感器，具有：

2.根据权利要求1所述的微机械的z加速度传感器，其特征在于，所述第一穿孔(50)布置成具有网格间距(60)的网格并且所述第二穿孔(55)布置在该网格的间隙中。

3.根据权利要求1或2所述的微机械的z加速度传感器，其特征在于，所述第一子区域(40)具有小于所述摇摆结构的第二子区域(45)的厚度。

4.根据权利要求2或3所述的微机械的z加速度传感器，其特征在于，所述网格具有所述第一穿孔(50)的7μm至15μm的网格间距(60)，所述第一穿孔具有4x3μm2至8x8μm2的横截面，并且所述第二穿孔(55)具有3μm至...

【技术特征摘要】

1.一种微机械的z加速度传感器，具有：

2.根据权利要求1所述的微机械的z加速度传感器，其特征在于，所述第一穿孔(50)布置成具有网格间距(60)的网格并且所述第二穿孔(55)布置在该网格的间隙中。

3.根据权利要求1或2所述的微机械的z加速度传感器，其特征在于，所述第一子区域(40)具有小于所述摇...

【专利技术属性】
技术研发人员：C·纳格尔，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：