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本发明涉及有机溶剂供应装置、基板处理方法、基板处理装置。根据本发明提供一种有机溶剂供应装置，在包括向基板供应有机溶剂的液处理腔室以及将涂布有有机溶剂的基板进行超临界干燥处理的超临界处理腔室的基板处理装置中，向所述液处理腔室供应所述有机溶剂。...
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