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本发明提供一种工件台系统及其工作方法，所述工件台系统包括：微动模块、粗动模块、冲击力吸收模块、吊框、底部框架和主动减震模块；所述吊框和所述底部框架之间通过所述主动减震模块隔离，所述吊框为所述微动模块提供垂向气浮支撑；所述粗动模块通过所述冲击...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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