下载一种硅片生产系统的技术资料

文档序号:41783226

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本申请涉及一种硅片生产系统,包括粘胶系统、切片系统、脱胶系统、清洗系统以及晶拖回流传动辊道,晶拖回流传动辊道连接于清洗系统和粘胶系统之间,被配置为将清洗后的晶拖传运至所述粘胶系统,以实现晶拖的回传再利用。本申请实现了晶托的快速重复利用,降低...
该专利属于安徽清电硅业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽清电硅业有限公司授权不得商用。

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