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本技术涉及一种用于溅射镀膜工艺的立式晶片镀膜治具，包括机台和支架，机台上设有旋转电机，支架包括内环和外环，内环连接于旋转电机的输出端，内环和外环之间设有连接杆，连接杆一端连接于内环外壁，另一端连接于外环外壁，连接杆用于将内环和外环连接成一整...
该专利属于嘉兴晶控电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴晶控电子有限公司授权不得商用。

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