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本技术公开了一种晶圆多点测温装置，属于晶圆测温技术领域，本装置包括信号线主线，信号线主线与测温器连接，信号线主线分为第一信号线主干与第二信号线主干，信号线主线均由若干根信号线组成，信号线末端均设置有微型测温热电偶；微型测温热电偶设置在晶圆上...
该专利属于广东瑞乐半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东瑞乐半导体科技有限公司授权不得商用。

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