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本技术提供了一种检测晶圆洗边效果的装置及沉积设备，包括承载部，所述承载部具有承载晶圆的承载面、所述承载面上设置有与晶圆的第一侧接触的第一电极；第二电极，所述第二电极位于晶圆的第二侧，所述第二侧与第一侧相对设置；电性检测装置，所述电性检测装置...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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