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本申请涉及一种卡盘调节机构及晶圆检测装置。所述卡盘调节机构应用于晶圆检测装置，且所述晶圆检测装置用于检测待检测样品，所述卡盘调节机构包括：卡盘、底盘以及调节组件，所述卡盘用于承载待检测样品；所述底盘与所述卡盘间隔设置，所述调节组件设置于所述...
该专利属于深圳市森美协尔科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市森美协尔科技有限公司授权不得商用。

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