【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆检测，具体涉及一种卡盘调节机构及晶圆检测装置。
技术介绍
1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的电子器件。在半导体行业，晶圆检测装置常用来对晶圆进行质量检测。常将晶圆设置于卡盘上，并通过探针组件对晶圆进行检测。在测试的过程中，需保证卡盘与测试平面平行，否则无法实现测试，因此，需要设置一种卡盘调节机构，以对卡盘进行调节，使得卡盘所在的平面与测试平面平行，以确保检测的顺利进行。
技术实现思路
1、鉴于此，本申请提供一种卡盘调节机构及晶圆检测装置，所述卡盘调节机构的调节组件对所述卡盘与底盘之间的距离进行调节，使得所述待检测样品所在的平面与测试平面平齐，提高了对待检测样品进行检测的精准度。
2、本申请提供了一种卡盘调节机构，所述卡盘调节机构应用于晶圆检测装置，所述晶圆检测装置用于检测待检测样品，所述卡盘调节机构包括：卡盘、底盘以及调节组件，所述卡盘用于承载待检测样品；所述底...
【技术保护点】
1.一种卡盘调节机构，其特征在于，应用于晶圆检测装置，所述晶圆检测装置用于检测待检测样品，所述卡盘调节机构包括：
2.根据权利要求1所述的卡盘调节机构，其特征在于，所述调节组件包括支撑件及活动件，所述支撑件连接所述底盘，所述活动件套设于所述支撑件远离所述底盘的一端且与所述支撑件螺纹连接，所述活动件远离所述支撑件的一端活动连接所述卡盘，所述活动件可朝向靠近或远离所述底盘的方向移动，以调节所述卡盘与所述底盘之间的距离。
3.根据权利要求2所述的卡盘调节机构，其特征在于，所述卡盘具有位于其面向所述底盘的卡槽，所述卡槽沿所述卡盘的周向延伸；所述活动件包...
【技术特征摘要】
1.一种卡盘调节机构，其特征在于，应用于晶圆检测装置，所述晶圆检测装置用于检测待检测样品，所述卡盘调节机构包括：
2.根据权利要求1所述的卡盘调节机构，其特征在于，所述调节组件包括支撑件及活动件，所述支撑件连接所述底盘，所述活动件套设于所述支撑件远离所述底盘的一端且与所述支撑件螺纹连接，所述活动件远离所述支撑件的一端活动连接所述卡盘，所述活动件可朝向靠近或远离所述底盘的方向移动，以调节所述卡盘与所述底盘之间的距离。
3.根据权利要求2所述的卡盘调节机构，其特征在于，所述卡盘具有位于其面向所述底盘的卡槽，所述卡槽沿所述卡盘的周向延伸；所述活动件包括依次相连且依次排布的套接部、连接部及调节部，所述套接部套设于所述支撑件远离所述底盘的一端且与所述支撑件螺纹连接，所述调节部位于所述套接部与所述卡盘之间，所述调节部沿所述卡槽的延伸方向可活动设置于所述卡槽。
4.根据权利要求2所述的卡盘调节机构，其特征在于，所述调节组件还包括限位件，所述限位件套设于所述支撑件的外周，且位于所述活动件与底盘之间，用于对所述活动件进行限位。
5.根据权利要求3所述的卡盘...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘世文，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。