下载一种晶圆存储装置的技术资料

文档序号:41778045

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本技术公开一种晶圆存储装置,包括壳体以及挂架,壳体内部中空以形成容置腔室,容置腔室于壳体一侧形成安装端口,挂架经安装端口与容置腔室可拆卸连接,挂架用于存放晶圆,通过上述结构设置,因本技术的晶圆存储装置设置有挂架,挂架与容置腔室可拆卸连接,使...
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