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本技术公开了一种陶瓷部件的平面磨削装置,包括机架,机架的下端设有工作台,工作台上设有磨削台,磨削台上开设有若干真空吸附孔,工作台内设有与真空吸附孔连通的真空腔,工作台的一侧设有真空发生器,真空腔与真空发生器连接,磨削台上固定设有一环形的橡胶...该专利属于浙江通瓷半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江通瓷半导体材料有限公司授权不得商用。
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