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一种储料器系统，用于存储多个掩膜版，特别是EUV掩膜版，该储料器系统包括多个存储舱(110)，每个存储舱适于将掩膜版中的一个保持在存储舱的内部并且适于竖直地一个堆叠在另一个之上以提供堆叠(80)，每个存储舱(110)包括具有入口(210)、...
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