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本公开涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种炉门状态检测装置和炉门开合装置，解决了相关技术检测炉门闭合状态时操作繁杂和成本高的问题。炉门驱动装置包括相互连接的支撑组件和活动组件，支撑组件被配置为支撑活动组件，活动组件与炉门连接并驱动炉门开合。...
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