【技术实现步骤摘要】
本公开涉及半导体制造，具体涉及一种炉门状态检测装置和炉门开合装置。
技术介绍
1、卧式炉是半导体材料的重要制造设备，卧式炉内设置炉管，半导体材料在炉管内进行相关的工艺加工，在工艺加工过程中，卧式炉需要保持较高的密封性，尤其是炉管和炉管的炉门之间的密封性。目前，相关技术利用推拉舟承载炉门和桨臂，利用推拉舟将桨臂的前端送入炉管内，同时关闭炉门。由于炉管的炉门设置于卧式炉的内部，操作人员无法直接目视炉管与炉门的相对位置，无法确保炉管和炉门的完全密封。
2、为了检测炉门的闭合或打开状态，相关技术采用在与桨臂或炉门连接的固定结构上安装微动开关，微动开关与控制系统通过较长的电线进行电连接。推拉舟对炉门进行传输时，电线会堆积在传输通道上，进而影响传输进度。为了避免电线堆积在传输通道上，需要增加拖链对电线进行及时拖拽与收纳，上述操作繁杂且成本高。
技术实现思路
1、有鉴于此，本公开实施例提供了一种炉门状态检测装置和炉门开合装置，解决了由于相关技术在与桨臂或炉门连接的固定结构上安装微动开关，微动...
【技术保护点】
1.一种炉门状态检测装置，其特征在于，应用于炉门驱动装置，所述炉门驱动装置包括相互连接的支撑组件和活动组件，所述支撑组件被配置为支撑所述活动组件，所述活动组件与所述炉门连接并驱动所述炉门开合，以暴露炉体的炉口或闭合所述炉口，所述炉门状态检测装置被配置为确定所述炉门处于闭合状态或打开状态；
2.根据权利要求1所述的炉门状态检测装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的炉门状态检测装置，其特征在于，所述滑块组件包括：
4.根据权利要求3所述的炉门状态检测装置，其特征在于，所述炉门包括外炉门和内炉门，所述连通组件包括：
5....
【技术特征摘要】
1.一种炉门状态检测装置，其特征在于，应用于炉门驱动装置，所述炉门驱动装置包括相互连接的支撑组件和活动组件，所述支撑组件被配置为支撑所述活动组件，所述活动组件与所述炉门连接并驱动所述炉门开合，以暴露炉体的炉口或闭合所述炉口，所述炉门状态检测装置被配置为确定所述炉门处于闭合状态或打开状态；
2.根据权利要求1所述的炉门状态检测装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的炉门状态检测装置，其特征在于，所述滑块组件包括：
4.根据权利要求3所述的炉门状态检测装置，其特征在于，所述炉门包括外炉门和内炉门，所述连通组件包括：
5.根据权利要求4所述的炉门状态检测装置，其特征在于，所述连通组件还包括：
6.根据权利要求3所述的炉门状态检测装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：龙占勇，李东林，张健宁，
申请(专利权)人：拉普拉斯广州半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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