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本发明提供了一种硅片交接装置及其硅片交接方法。所述装置包括硅片台和承载硅片台的基台，它还包括硅片接片手，基台设有硅片交接区；硅片接片手内置于基台，且位于硅片交接区的下方；硅片接片手包括若干可伸缩真空柱；硅片交接区表面对应于可伸缩真空柱的位置...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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