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本发明提出一种精确确定空间像高大小的方法，适用于在对准系统中预先计算空间像高大小，其特征是根据公式计算空间像高大小，其中ｃ１、ｃ２为偏移常数，λ为对准系统所采用光源的波长，ＮＡ为对准系统中光线的数值孔径。本发明所提供的公式相较于之前的经验公...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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