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本发明提供一种晶圆传输系统的夹持装置，多个夹持组件沿圆周方向间隔设置，以在多个夹持组件内侧形成晶圆容置空间；每个夹持组件中的第一夹持部和第二夹持部分别用于夹持工艺处理前和工艺处理后的晶圆；多个夹持组件中的转轴能够围绕各自轴线转动至第一位置、...
该专利属于北京七星华创集成电路装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创集成电路装备有限公司授权不得商用。

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