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一种LDMOS器件及其形成方法,所述LDMOS器件包括:基底,所述基底内形成有漂移区和体区;栅极结构,位于所述基底上且覆盖部分漂移区和部分体区;漏区,位于所述栅极结构一侧的漂移区内;源区,位于所述栅极结构另一侧的体区内;金属硅化物场板,位于...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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一种LDMOS器件及其形成方法,所述LDMOS器件包括:基底,所述基底内形成有漂移区和体区;栅极结构,位于所述基底上且覆盖部分漂移区和部分体区;漏区,位于所述栅极结构一侧的漂移区内;源区,位于所述栅极结构另一侧的体区内;金属硅化物场板,位于...