下载用于太阳能电池基体成列处理的方法及湿式工作台的技术资料

文档序号:41766337

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用于处理复数个太阳能电池基体(5)的一方法及一湿式工作台(1)被描述。各个太阳能电池基体(5)包含一个硅晶圆。该方法包含至少下列处理步骤:(i)移除该硅晶圆之一近表面层的至少一个部分区域(75),其系借助于一种藉由使用一蚀刻液来处理该太阳能...
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