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本发明公开了一种掩膜板清洁系统，用于在掩膜板进行曝光之前，对掩膜板进行清洁，其包括：清洁室，其两侧具有掩膜板出入的开口；开关装置，用于检测所述掩膜板的经过，产生控制信号；清洁装置，位于所述清洁室内，与所述开关装置电连接，根据所述控制信号开启...
该专利属于北京京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京东方光电科技有限公司授权不得商用。

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