温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，其涉及化学气相沉积炉辅助设备技术领域，包括壳体，所述壳体的两侧侧壁上连通设置有扩散斗和聚气斗，所述壳体的顶壁上开设有多个第一通槽，所述壳体的顶部活动设置有上盖，所述上盖的底部且位于多个第一通槽内...
该专利属于辽宁烯旺石墨科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过辽宁烯旺石墨科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。