【技术实现步骤摘要】
本技术涉及化学气相沉积炉辅助设备，具体为一种化学气相沉积炉用尾气处理装置。
技术介绍
1、化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。
2、如公告号为cn216320945u的技术专利中，公开了一种化学气相沉积炉的尾气处理装置，通过在壳体内设置多块冷凝板，使化学气相沉积炉尾气中的焦油冷凝，来去除尾气中的焦油。
3、然而该技术在使用一段时间后，需要人员将上盖和多块冷凝板抽出来进行清理，人工清理费时费力，操作不便，因此一种化学气相沉积炉用尾气处理装置亟待开发。
技术实现思路
1、针对现有技术的上述不足，本技术提供一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，通过外置供液装置向第一进液管中输送清洗液，清洗液从多个喷头喷出来对多块冷凝板进行冲洗，再利用一对气缸带动多块冷凝板竖直向上移动，使多对刷条对多块冷凝板进行清理，...
【技术保护点】
1.一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，包括壳体(1)，所述壳体(1)的两侧侧壁上连通设置有扩散斗(1-1)和聚气斗(1-2)，所述壳体(1)的顶壁上开设有多个第一通槽(1-3)，所述壳体(1)的顶部活动设置有上盖(5)，所述上盖(5)的底部且位于多个第一通槽(1-3)内设置有多块冷凝板(6)，其特征在于，所述壳体(1)的顶部设置有一对气缸(4)，一对所述气缸(4)的伸缩端与上盖(5)的底部连接，所述壳体(1)的顶部设置有第一进液管(7)，所述第一进液管(7)一端封闭，另一端连接有外置供液装置，所述壳体(1)的顶壁上且位于每块冷凝板(6)的两侧贯穿设置有多对第二进液管(...
【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，包括壳体(1)，所述壳体(1)的两侧侧壁上连通设置有扩散斗(1-1)和聚气斗(1-2)，所述壳体(1)的顶壁上开设有多个第一通槽(1-3)，所述壳体(1)的顶部活动设置有上盖(5)，所述上盖(5)的底部且位于多个第一通槽(1-3)内设置有多块冷凝板(6)，其特征在于，所述壳体(1)的顶部设置有一对气缸(4)，一对所述气缸(4)的伸缩端与上盖(5)的底部连接，所述壳体(1)的顶部设置有第一进液管(7)，所述第一进液管(7)一端封闭，另一端连接有外置供液装置，所述壳体(1)的顶壁上且位于每块冷凝板(6)的两侧贯穿设置有多对第二进液管(8)，每对所述第二进液管(8)的底部连通设置有第三进液管(9)，每个所述第三进液管(9)上设置有多个喷头(10)，所述壳体(1)的顶部内壁上且位于每块冷凝板(6)的两侧活动设置有多对刷条(15)，多对所述刷条(15)能够抵接到冷凝板(6)上，所述壳体(1)的底部连通设置有出液管(2)，所述出液管(2)上设置有阀门(3)。
2.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁志刚，王大力，郝清伟，徐恩彬，
申请(专利权)人：辽宁烯旺石墨科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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