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本申请提供一种基于超导量子干涉仪的气体压力传感器芯片及其制备方法，涉及半导体芯片技术领域。气体压力传感器芯片包括：真空腔体，在真空腔体的腔体壁内限定出真空腔室；磁性薄膜，覆盖至开口以密封真空腔室，磁性薄膜响应于环境的气体压力变化而产生不同形...
该专利属于北京量子信息科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过北京量子信息科学研究院授权不得商用。

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