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本发明提供一种机械手臂装置和半导体加工设备，该装置中，转臂组件在平行于水平面的平面内的第一位置与第二位置之间转动；转臂组件的第一端通过传动组件与托盘组件转动连接；传动组件被设置为：在第一段路程中，使托盘组件与转臂组件保持相对固定，以使托盘组...
该专利属于北京七星华创集成电路装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创集成电路装备有限公司授权不得商用。

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