机械手臂装置和半导体加工设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种机械手臂装置和半导体加工设备，该装置中，转臂组件在平行于水平面的平面内的第一位置与第二位置之间转动；转臂组件的第一端通过传动组件与托盘组件转动连接；传动组件被设置为：在第一段路程中，使托盘组件与转臂组件保持相对固定，以使托盘组件的指定侧面围绕第一轴线，自与腔室的晶圆传输口所在侧壁相互平行的第一角度转动至与片盒传输口所在侧壁相互平行的第二角度；在第二段路程中，带动托盘组件沿与转臂组件的转动方向相反的方向围绕第二轴线转动，以使托盘组件的指定侧面保持在第二角度不变。本方案可以在实现托盘组件的指定侧面角度切换的基础上，降低装置的设计难度，而且很容易实现托盘组件的指定侧面角度的调整。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种机械手臂装置和半导体加工设备。

技术介绍

1、真空盒式升降机(vacuum cassette elevator，简称vce)主要包括能够升降的腔室和设置在该腔室中的机械手臂装置，其中，腔室的两个不同的侧壁上分别设置有晶圆传输口和片盒传输口，且两个侧壁之间呈夹角。机械手臂装置用于承载片盒(可装载多个晶圆)。在使用时，当机械手臂装置自片盒传输口伸出腔室时，可以采用标准机械接口(standard mechanical interface，简称smif)将片盒放置于机械手臂装置的托盘上；然后，机械手臂装置可以旋回腔室中，此时半导体加工设备中的机械手可以经由晶圆传输口从片盒中取出晶圆，并将晶圆传递至半导体加工设备的各个工艺单元；还可以将工艺处理后的晶圆经由另一腔室的晶圆传输口放置于该腔室的片盒中。

2、在机械手臂装置将片盒传入或传出腔室的过程中，需要使机械手臂装置的托盘的指定侧面(即与所承载片盒的开口位于同一侧的侧面)，在托盘位于腔室之外时与片盒传输口所在侧壁相互平行，以使smif能够准确地将片盒放置于托盘上本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种机械手臂装置，用于设置在半导体加工设备的腔室中，其特征在于，包括转臂组件、传动组件和用于承载片盒的托盘组件，其中，所述转臂组件能够使其第一端围绕第二端所在的第一轴线，在平行于水平面的平面内的第一位置与第二位置之间转动，且自所述第一位置转动至所述第二位置的路程包括第一段路程和第二段路程；所述转臂组件的第一端通过所述传动组件与所述托盘组件转动连接，用以带动所述托盘组件经由所述腔室的片盒传输口移入或移出所述腔室；

2.根据权利要求1所述的机械手臂装置，其特征在于，所述传动组件包括弹性限位部件、传动部件和角度限位部件，其中，所述弹性限位部件分别与所述托盘组件和所述转臂组件连接...

【技术特征摘要】

1.一种机械手臂装置，用于设置在半导体加工设备的腔室中，其特征在于，包括转臂组件、传动组件和用于承载片盒的托盘组件，其中，所述转臂组件能够使其第一端围绕第二端所在的第一轴线，在平行于水平面的平面内的第一位置与第二位置之间转动，且自所述第一位置转动至所述第二位置的路程包括第一段路程和第二段路程；所述转臂组件的第一端通过所述传动组件与所述托盘组件转动连接，用以带动所述托盘组件经由所述腔室的片盒传输口移入或移出所述腔室；

2.根据权利要求1所述的机械手臂装置，其特征在于，所述传动组件包括弹性限位部件、传动部件和角度限位部件，其中，所述弹性限位部件分别与所述托盘组件和所述转臂组件连接，用于向所述托盘组件和所述转臂组件施加能够使二者保持相对固定的弹力；

3.根据权利要求2所述的机械手臂装置，其特征在于，所述传动部件包括定轴、第一转轴和传送带结构，其中，所述定轴与所述第一轴线同轴设置，且与所述转臂组件的第二端转动连接，并在所述转臂组件转动时固定不动；

4.根据权利要求2或3所述的机械手臂装置，其特征在于，所述角度限位部件包括旋转件和限位件，其中，所述旋转件与所述传动部件固定连接，用以在所述传动部件传递的旋转动力的驱动下，围绕所述第二轴线转动；所述限位件与所述托盘组件固定连接；

5.根据权利要求4所述的机械手臂装置，其特征在于，所述第一配合部包括限位凹槽；所述第二配合部包括限位部；所述限位部位于所述限位凹槽中，且所述限位部在围绕所述第二轴线的圆周方向上的宽度小于所述限位凹槽在所述圆周方向上的宽度；

6.根据权利要求2所述的机械手臂装置，其特征在于，所述弹性限位部件包括第一阻挡件、第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：常鸿超，田永安，韩彬，
申请(专利权)人：北京七星华创集成电路装备有限公司，
类型：发明
国别省市：