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一种半导体生产中掺杂剂的称量系统,它包括:多台电子秤,计算机,打印机,所述的电子秤与计算机之间接串口扩张卡,卡的一端为接口,该接口接电子秤数据传输线,另一端为输出端,该输出端接电脑主机,电子秤与电脑的数据传输采用标准的TCP/IP协议,计算...该专利属于北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司授权不得商用。