下载一种PVD电弧涂层机的磁场调节装置的技术资料

文档序号:41760779

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本技术涉及PVD电弧涂层机领域,提供了一种PVD电弧涂层机的磁场调节装置,其包括阴极座、设置于所述阴极座上的靶材以及设置于所述阴极座内的磁场调节机构,所述磁场调节机构上设置有多个不同规格的磁铁安装孔,所述磁铁安装孔用于安装相应规格的磁铁。采...
该专利属于瑞士纳米技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑞士纳米技术有限公司授权不得商用。

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